o2是什么气体-请教个问题，TMA的压料气体为什么一般都用PAr,不用PN2?

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虽然氮气本身化学性质并不活泼，但在高温、高能量条件下可与某些物质发生化学变化。用氩气更安全

几个工厂做过分析对比，使用氮气会比氩气的维修率高 N2温度超850℃会分解。PECVD、MOCVD、外延很多高温的炉体，都不会用到N2o2是什么气体，H2或Ar作为载体。N2进入腔体形成氮化硅了，影响制成。LED行业的MOCVD还是使用氮气和氢气作为载气的。

TMA全称三甲基铝二．气体存储量 1.2Kg 三．气体性质该气体溶于乙醚、饱和烃类等有机溶剂。在苯中为二聚体，甚至在气相中也有部分二聚体。三甲基铝在空气中燃烧。遇水爆炸，生成氢氧化铝与甲烷。为路易斯酸，能与给予体如胺类、膦类、醚类及硫醚类结合。分子量：72.086 熔点(101.325kPa)：15.28℃沸点(101.325kPa)：127.12℃液体密度(20℃，100kPa)：752kg/m 熔化热(15.28℃，101.325kPa)：122.05 kJ/kg 气化热(127.12℃，101.325kPa)：581.38kJ/kg 比热容(25℃，101.325kPa)：2160

三甲基铝(TMA)是一种重要的有机金属化合物，其用于生产芯片，还是用于生产高质量熔喷布专用料催化剂的原料o2是什么气体，但是，这个化合物国内却不能生产，全部依赖靠进口。

三甲基铝用于生产芯片的晶圆上，半导体行业都把这类产品统称为气体或者是ALD/CVD前驱体，在光伏、LED,集成电路，液晶显示也都要用到。

TMA还是合成茂催化剂体系中助催化剂甲基铝氧烷(MAO)、改性甲基铝氧烷(MMAO)的起始原料，茂金属催化剂性能独特，可控制聚合物相对分子质量、立体规整结构、共聚单体含量等，从而生产出性能优异的聚烯烃树脂。

熔喷布是生产口罩、防护衣等医疗物资的原料，生产熔喷布专用料是高熔融指数的聚丙烯，聚丙烯的熔融指数越高，熔喷出的纤维就越细，制作成的熔喷布过滤性也就越好。

TMA视频

TMA物性及蒸气压曲线

TMA材料兼容性

TMA的物理和化学性质

TMA常见包装形式

TMA存储安全要求

TMA存储库房示意图

TMA分析示意图

TMA分解反应曲线图

注：超过35摄氏度，TMA会发生分解，烟雾传感器必备

TMA泄漏照片

TMA风险

空气中自燃

与水剧烈反应（剧烈程度超过DEZ）;

DEZ火焰反应产生的烟雾毒性超过TMA;

TMA的禁水特性

TMA消防措施

使用蛭石

小规模火灾可通过采取如下措施进行控制：

以下的灭火介质不适用于能自燃的金属有机物液体火焰：

预防 = 降低事故发生频率

保护措施 = 降低事件发生后的严重度

TMA消防设计要求

TMA常见供应系统

PPE安全装备

TMA操作注意事项

电子级TMA常见规格

三甲基铝现场处置

三甲基铝Trimethyl Aluminum又称（TMA）7.2公斤钢瓶装

性质：无色液体，熔点15.28℃。即低于15.28摄氏度时固态结冰状态。

密度0.752g/cm3。比水轻

安全防护

工作时必须穿戴氯乙烯或氯丁橡胶防护服，皮或者尼龙的手套，高腰胶靴，护目镜，防毒(酸性气体用)口罩等。工作场所要通风，保持环境空气新鲜干燥。用钢瓶盛装，液面要用N2、Ar等惰性气体保护。

泄漏处置：用蛭石头或干粉灭火器灭火，泄漏到地面上先用蛭石围堵吸收，通知ERT应急处置人员来处理，严禁用水灭火，不但没有效果火势还会更大和爆炸。

皮肤接触：立即用大量的水冲洗15分钟，然后就医

衣服接触：立即脱掉衣服，然后用大量水冲洗15分钟

眼睛接触:立即用大量水水冲洗15分钟就医。

吸入伤害：因为三甲基铝太活泼，它不可能以其原形直接吸人体内。它在空气中自燃时发出对人体有害的氧化铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、皮肤和呼吸道粘膜。人吸入后气管和肺受损伤，严重时能引起肺水肿。

与氧气反应 2TMA+12 O2=6CO2+9H2O+AL2O3

与水反应 TMA+3H2O=AL(OH)3+3CH4

溶于乙醚、饱和烃类等有机溶剂。在苯中为二聚体，甚至在气相中也有部分二聚体。三甲基铝在空气中燃烧。遇水爆炸，生成氢氧化铝与甲烷。为路易斯酸，能与给予体如胺类、膦类、醚类及硫醚类结合。本品可由金属铝与二甲基汞加热制得；或由金属铝与卤甲烷制成三卤代三甲基二铝，然后再与金属钠反应制得。三甲基铝用作烯烃聚合催化剂、引火燃料，也用于制取直链伯醇和烯烃等，可用于金属有机化合物气相沉积。

三甲基铝是MO源的一种，MO源广泛应用于LED行业，太阳能电池行业，半导体激光器等行业，目前生产三甲基铝的企业主要有Nouryon (Akzo Nobel)，Albemarle，Lanxess (Chemtura)，南大光电，SAFC Hitech，江西佳因光电材料有限公司，UP Chemical，Lake Materials和安徽亚格盛，市场相对集中。

根据恒州博智（QYResearch）最新调研；全球三甲基铝的产值从2014年的5495.20万元增加到2018年的7896.21万元,全球三甲基铝市场预计在2025年将达到15655.52万元，2019年到2025年的复合增长率为10.20%。2018年,全球三甲基铝产量市场主要以中国为首。其次是欧洲在市场上占据第二位。其中2018年，中国约占了全球产产量的27.51%。

本报告研究全球与中国三甲基铝的发展现状及未来发展趋势，分别从生产和消费的角度分析三甲基铝的主要生产地区、主要消费地区以及主要的生产商。重点分析全球与中国的主要厂商产品特点、产品产品类型、不同产品类型产品的价格、产量、产值及全球和中国主要生产商的市场份额。

主要生产商包括：

Nouryon (Akzo Nobel)

Albemarle

Lanxess (Chemtura)

南大光电

SAFC Hitech

江西佳因光电材料有限公司

UP Chemical

Lake Materials

安徽亚格盛

按照不同产品类型，包括如下几个类别：