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o2是什么气体-请教个问题，TMA的压料气体为什么一般都用PAr,不用PN2?
PECVD、MOCVD、外延很多高温的炉体，都不会用到N2，H2或Ar作为载体。TMA物性及蒸气压曲线注：超过35摄氏度，TMA会发生分解，烟雾传感器必备用钢瓶盛装，液面...
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